produkter Søk
produktkategorier
PSL Spheres 47 nm, 50 ml flaskevolum Polystyrene lateksperler

Surf-Cal, partikkelstørrelsesstandarder, 50 ml volum, ferdigblandet til 1x10E8 og 1x10E10 konsentrasjon / ml

SURF-CAL™ partikkelstørrelsesstandarder brukt i størrelseskalibrering og overvåking av Scanning Surface Inspection Systems (SSIS). Partikkelstørrelsene nedenfor tilsvarer kalibreringspartikkelstørrelsene som kreves av instrumentprodusenter. Du bør gjennomføre periodiske kalibreringskontroller og ukentlig overvåking av størrelse og antall for å sikre at waferinspeksjonsskanneren din kan sammenlignes med skannere på andre steder. Alle polystyren-mikrokuler er suspendert i avionisert, filtrert vann i 50 ml flaskevolum i en konsentrasjon på 3 × 10 E8 eller 1 × 10 E10 partikler per ml. Størrelser notert med * ligner på NIST SRM-partikler ved den diameteren. Brytningsindeksen er 1.59 @ 589nm (25C) for alle polystyren-mikrokuler nedenfor. Hver flaske er stabil i 12 måneder og er pakket med et sertifikat for kalibrering og sporbarhet til NIST.

Ved å deponere SURF-CAL, NIST sporbare PSL (polystyren latex) kuler på bare silisium og mønster wafere, kan du utføre periodiske størrelseskalibreringskontroller på KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS verktøy og sammenligne wafer inspeksjonsskanneren med skannere på andre steder. Du kan også vurdere ytelsen til SSIS på kritiske stadier i produksjonsprosessen. Alle produktene er suspendert i avionisert, filtrert vann (DI-vann) i 50 ml flasker med en konsentrasjon på 3 x10 e10 partikler/ml eller 1 x10 e10 partikler/ml. Disse Surf-Cal-partikkelstørrelsesstandardene er polystyren-mikrokuler som har blitt dimensjonert med Differential Mobility Analyzer (DMA) eller andre størrelsesekskluderende teknikker.

Kategori: Tags: , , , , , , , , , , , ,

DELENUMMER

Konsentrasjon Count/ml

Partikkeldiameter

Størrelsesfordeling

 Pris per 50 ml flaske
APPD-047 3 x 108 partikler/ml 0.047 mikrometer 0.004μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
APPD-047B 1 x 1010 partikler/ml 0.047 mikrometer 0.004μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
APPD-064 3 x 108 partikler/ml 0.064 mikrometer 0.003μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
APPD-064B 1 x 1010 partikler/ml 0.064 mikrometer 0.003μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
APPD-083 3 x 108 partikler/ml 0.083 mikrometer 0.004μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD-083B 1 x 1010 partikler/ml 0.083 mikrometer 0.004μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
AP PD-092 3 x 108 partikler/ml 0.092 mikrometer 0.004μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD-092B 1 x 1010 partikler/ml 0.092 mikrometer 0.004μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
AP PD-100* 3 x 108 partikler/ml 0.100 mikrometer 0.003μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD-100B* 1 x 1010 partikler/ml 0.100 mikrometer 0.003μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
AP PD-125 3 x 108 partikler/ml 0.126 mikrometer 0.003μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD-125B 1 x 1010 partikler/ml 0.126 mikrometer 0.003μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
AP PD-155 3 x 108 partikler/ml 0.155 mikrometer 0.003μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD-155B 1 x 1010 partikler/ml 0.155 mikrometer 0.003μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
AP PD-200 3 x 108 partikler/ml 0.202 mikrometer 0.004μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD-200B 1 x 1010 partikler/ml 0.202 mikrometer 0.004μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
AP PD-204 3 x 108 partikler/ml 0.204 mikrometer 0.004μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD-204B 1 x 1010 partikler/ml 0.204 mikrometer 0.004μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
AP PD-215 3 x 108 partikler/ml 0.220 mikrometer 0.003μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD-215B 1 x 1010 partikler/ml 0.220 mikrometer 0.003μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
AP PD-305 3 x 108 partikler/ml 0.304 mikrometer 0.004μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD-305B 1 x 1010 partikler/ml 0.304 mikrometer 0.004μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
AP PD-365 3 x 108 partikler/ml 0.360 mikrometer 0.005μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD-365B 1 x 1010 partikler/ml 0.360 mikrometer 0.005μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
AP PD-500 3 x 108 partikler/ml 0.498 mikrometer 0.006μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD-500B 1 x 1010 partikler/ml 0.498 mikrometer 0.006μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
AP PD-800 3 x 108 partikler/ml 0.809 mikrometer 0.006μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD-800B 1 x 1010 partikler/ml 0.809 mikrometer 0.006μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
AP PD-802 3 x 108 partikler/ml 0.802 mikrometer 0.009μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD-802B 1 x 1010 partikler/ml 0.802 mikrometer 0.009μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
AP PD1100 3 x 108 partikler/ml 1.112 mikrometer 0.011μm

$ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD1100B 1 x 1010 partikler/ml 1.112 mikrometer 0.011μm

$ 1495.00   Legg i handlevogn
AP PD1600 3 x 108 partikler/ml 1.59 mikrometer 0.016μm $ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD2000 3 x 108 partikler/ml 2.01 mikrometer 0.019μm $ 295.00   Legg i handlevogn
AP PD3000 3 x 108 partikler/ml 3.04 mikrometer 0.026μm $ 295.00   Legg i handlevogn

Målemetodikk:

For å sikre NIST-sporbarhet ble de sertifiserte diametrene til disse produktene overført ved transmisjonselektron eller optisk mikroskopi fra NIST-standardreferansematerialer (2). Usikkerheten ble beregnet ved å bruke NIST Technical Note 1297, 1994 Edition "Guidelines for Evaluating and Expressing the Uncertainty of NIST Measurement Results" (4). Usikkerheten som er oppført er den utvidede usikkerheten med en dekningsfaktor på to (K=2). Toppdiameteren ble beregnet ved å bruke omtrentlig ± 2s-området for partikkelstørrelsesfordelingen. Størrelsesfordelingen ble beregnet som standardavviket (SDS) for hele toppen. Variasjonskoeffisienten (CV) er ett standardavvik uttrykt som en prosentandel av toppdiameteren. FWHM (full bredde ved Half Maximum) fordelingen ble beregnet som fordelingen ved halvparten av topphøyden uttrykt som en prosentandel av toppdiameteren.

1. "The National Technology Roadmap for Semiconductors", Semiconductor Industry Association (1999)

2. SD Duke og EB Layendecker, "Intern Standard Method for Size Calibration of Sub-Micron Spherical Particles by Electron Microscopy", Fine Particle Society (1988)

3. SEMI M52 - Veiledning for spesifisering av overflateinspeksjonssystemer for silisiumskiver 130 nm Technology Generation.

4. Barry N. Taylor og Chris E. Kuyatt, "Guidelines for Evaluating and Expressing the Uncertainty of NIST Measurement Results". NIST Technical Note 1297, 1994-utgaven, september 1994.

Relaterte produkter

Oversette "